DIN 50453-1-1990 半导体工艺材料的检验.蚀刻混合剂浸蚀率的测定.第1部分:单晶硅测重法

作者:标准资料网 时间:2024-05-19 08:09:15  浏览:9943   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofetchratesofetchingmixtures;siliciummonocrystals;gravimetricmethod
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.蚀刻混合剂浸蚀率的测定.第1部分:单晶硅测重法
【标准号】:DIN50453-1-1990
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1990-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;衬底(绝缘);重量分析法;单晶;重量分析;材料;快速方法;腐蚀混合物;腐蚀速度;试验;蚀刻;半导体工艺;混合物;材料试验
【英文主题词】:rapidmethod;gravimetricanalysis;materials;testing;materialstesting;substrates(insulating);gravimetry;singlecrystal;etching;etchmixtures;etchrates;mixtures;semiconductortechnology;silicon
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:3P;A4
【正文语种】:德语